fnctId=bbs,fnctNo=701
- 글번호
- 205273
- 작성일
- 2024.09.19
- 수정일
- 2024.09.19
- 작성자
- eng_physics
- 조회수
- 72
[특강안내: 응용물리종합설계Ⅰ] 반도체 제조를 위한 플라즈마 발생장치
안녕하세요, 응용물리종합설계Ⅰ교과에서 진행 예정인 특강 안내드립니다.
○일시: 2024.9.23.(월) 오후 5시
○장소: 과학관 110호
○대상: 학부생 및 대학원생
○연사: PSK 박종우 책임연구원
○특강주제: 반도체 제조를 위한 플라즈마 발생 장치
○세부내용: 반도체 제조, 특히 식각특히 식각(etching) 과정에서 널리 사용하는 플라즈마의 발생 원리, 생성 방법 및 그 용도
관심있는 학생들의 많은 참석 부탁드립니다. 감사합니다.
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