fnctId=bbs,fnctNo=712
- 글번호
- 210028
- 작성일
- 2025.09.22
- 수정일
- 2025.09.22
- 작성자
- eng_physics
- 조회수
- 140
[특강 안내: 신소재물리종합설계 I] 반도체 제조를 위한 플라즈마 발생 장치
신소재물리종합설계Ⅰ교과에서 진행 예정인 특강 안내드립니다.
○일시: 2025.09.29 (월) 오후 5시
○장소: 과학관 110호
○대상: 학부생 및 대학원생
○연사: PSK 박종우 책임연구원
○특강 주제: 반도체 제조를 위한 플라즈마 발생 장치
○세부 내용: 반도체 제조, 식각(etching) 과정에서 널리 사용하는 플라즈마의 발생 원리, 생성 방법 및 그 용도
캡스톤교과목 수강생이 아니어도 참여 가능하오니, 학생들의 많은 참여 부탁드립니다.
- 첨부파일
- 첨부파일이(가) 없습니다.