글번호
210028
작성일
2025.09.22
수정일
2025.09.22
작성자
eng_physics
조회수
164

[특강 안내: 신소재물리종합설계 I] 반도체 제조를 위한 플라즈마 발생 장치

별신소재물리종합설계Ⅰ교과에서 진행 예정인 특강 안내드립니다.

 

○일시: 2025.09.29 (월) 오후 5시 

 

○장소: 과학관 110호 

 

○대상: 학부생 및 대학원생


○연사: PSK 박종우 책임연구원


○특강 주제: 반도체 제조를 위한 플라즈마 발생 장치


○세부 내용: 반도체 제조, 식각(etching) 과정에서 널리 사용하는 플라즈마의 발생 원리, 생성 방법 및 그 용도


별캡스톤교과목 수강생이 아니어도 참여 가능하오니, 학생들의 많은 참여 부탁드립니다.

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